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解决方案与产品应用
半导体工业中臭氧的监测
更新时间:2024-03-18 11:17:56
下载资料应用介绍
1.什么是臭氧和臭氧的危害。
臭氧是地球大气中一种微量气体,它是由于大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后,氧原子又与周围的氧分子结合而形成的,含有3个氧原子。大气中90%以上的臭氧存在于大气层的上部或平流层,离地面有10~50千米,这才是需要人类保护的大气臭氧层派薯氏。还有少部分的臭氧分子徘徊在近地面,仍能对阻挡紫外线有一定作用。
当臭氧达到一定浓度时,可使人呼吸加速、胸闷,如果浓度进一步提高,可引起脉搏加速、疲倦、头痛尘散,在这样的环境中停留1小时,会发生肺气肿,甚至死亡。长期呆在臭氧污染严重的环境中,对皮肤健康也可能有损伤,还可能增加致癌危险。臭氧污染还会对环境造成损害。比如,会导致植物叶片坏死、脱落,危害生态环境,造成农作物减产等。
2.臭氧在半导体工业中的应用
在过去的几年中,臭氧在半导体工业的应用越来越受到重视,特别是在晶圆清洗过程。
在半导体行业,清洁度是一个绝对的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变。自80年代末以来,在芯片生产中采用臭氧的清洁工艺已经被使用。随着修改和新方法的开发,人们的兴趣继续增长。每个晶圆处理步骤都是潜在的污染源,每个步骤都有其特定类型的污染物。这意味着一个有效的清洗过程包括几个清洗步骤,以去除晶体上的所有污染物。同时“绝对清洁”的行业要求扩展到设备(臭氧发生器,接触到的设备),这意味着不会产生颗粒,没有金属,离子或有机污染物。所以在半导体行业中会或多或少的有臭氧气体的挥发到空气中。
3. 怎么对进行臭氧气体监测
在此,深圳新世联科技有限公司推荐一款臭氧传感器OC-B431,该传感器具有响应速度快、抗干扰、分辨率高、线性度好、灵敏度高等特点。传感器是四电极电化学传感器,不同于常规三电极电化学传感器,OX-B431多了一个辅助极,用于补偿零点电流,使传感器具有更稳定的零点。下面是OX-B431的部分参数:
量程:0-20ppm
分辨率:15ppb
灵敏度:-225~-75nA/ppm
过载:50ppm
尺寸:φ32.3X16.5